带您深入理解工业气体净化设备的各组成部件特点
更新时间：2025-12-02 点击量：36
工业气体净化设备是保障高纯气体、工艺气体及压缩空气洁净度的关键装备，广泛应用于半导体制造、生物医药、食品饮料、激光加工及精密焊接等领域。其通过多级过滤与吸附技术，有效去除气体中的颗粒物、水分、油雾、有机物及有害杂质，确保终端用气达到ppb级纯度要求。设备性能高度依赖各功能模块的协同运作，深入理解工业气体净化设备各组成部件特点，是选型、运维与效能优化的基础。
一、预过滤单元
通常采用5–40μm精度的纤维或烧结金属滤芯，用于去除大颗粒粉尘、液态水滴及油雾，保护后级精密元件。具备压差指示器，当阻力升高至设定值（如0.1MPa）时提示更换，避免堵塞影响流量。
二、深度干燥模块
冷冻式干燥机：适用于露点要求不高的场合（+3℃至+10℃），通过制冷降温使水蒸气冷凝排出；
吸附式干燥机（主流）：采用双塔结构，填充活性氧化铝或分子筛，通过变压（PSA）或变温（TSA）再生，可将压力露点降至-40℃、-70℃甚至-100℃，满足高纯工艺需求。
三、精过滤与除油单元
超高效凝聚式过滤器：精度达0.01μm，去除气溶胶态油雾和微粒，残余油含量可低至0.001mg/m3；
活性炭吸附层：专用于脱除VOCs、异味及有机蒸汽，常置于干燥后段，防止水分饱和影响吸附效率。
四、催化/化学净化模块
针对特定杂质设计：
除氧催化剂（如铜基、钯基）：在H3存在下将O3转化为H3O，再由分子筛吸附；
除烃净化器：高温催化氧化将CH3等碳氢化合物转化为CO3和H3O；
酸性气体吸附柱：填充碱性分子筛或氧化钙，去除CO3、H3S等。
五、智能控制系统
实时监测进出口压力、露点、压差及再生状态；
自动切换干燥塔、触发报警（如滤芯堵塞、露点超标）；
支持远程通信（Modbus、4G），接入工厂能源管理系统。
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